山东锐轩流体控制技术有限公司

 该微小型气体流量控制器采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

技术参数：

2.1测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2  流量范围：DN3   30-300ml/min

                             DN6   60-600ml/min

                             DN8   80-800ml/min

                             DN10 100-1000ml/min            

             注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；

(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

(c)每个口径量程范围均可扩大

(d)特殊需要可联系厂家单独标定

2.3  流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4  工作温度范围：0-55℃；

2.5  工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6  供电电源：24VDC±10%；

2.7  输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8  环境温度：0-55℃；

2.9  显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

特点：

1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。

2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。

3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。

4、单个芯片的卓越流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。

5、机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。

5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到最小化。

6、采用国际最新的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。

7、独创零点自校功能，测量更准确。

8、多种气体实际标定，全量程补偿。

9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。

10、规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。

11、精度等级高，满足用户高精度测量要求。

12、独有的流量计报警功能，使监控更可靠。

13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。

14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选。