近年来，在国家政策以及市场需求的推动下，国内半导体设备企业迎来了发展的黄金时期。借助科创板东风，中微公司成功上市，芯源微、华峰测控亦将不日登陆科创板，此外，北方华创、至纯科技等上市公司也纷纷募资，加码半导体设备项目，加大研发、扩充产能成国产半导体设备厂商主旋律。
值得注意的是，应用在先进制程上的国产半导体设备，其核心零部件却需要从国外进口。为推动我国装备制造业转型升级，国家也出台了多项税收优惠政策，促进国内半导体设备企业发展。
进口零部件免税已持续十年
12月6日，财政部、工信部、海关总署、税务总局、能源局发布《关于调整重大技术装备进口税收政策有关目录的通知》。通知公布了2019年修订的新版《国家支持发展的重大技术装备和产品目录》及《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录》，明确自2020年1月1日起，目录中符合规定条件的国内企业为生产相关装备或产品而确有必要进口相关商品的，免征关税和进口环节增值税。
集微网查阅了2019年修订的上述两目录后发现，可以享受相关税收优惠的重大技术装备和产品包括集成电路关键设备、半导体发光二极管（LED）生产设备、新型平板显示器件生产设备、电子元器件生产设备等。
针对上述政策对企业的影响，笔者采访了多名从事半导体设备行业人士得知，其实上述政策一直都有，本次税收政策发布只是延续，每年仅对部分设备或零部件进行调整。
集微网查阅资料显示，自2009年8月，财政部等六部委就联合出台了重大技术装备进口税收政策，距今已延续了十年。
此外，为扶持国内设备生产企业，国家相关部门还出台了其它税收优惠政策，比如高新技术企业认证、国内研发机构采购国产设备免税等。
重大技术装备和产品新增离子注入机等设备
除了对大多数重大技术装备和产品进行延续和调整外，本次通知也新增了一些重大技术装备和产品可以享受相关税收优惠。
在“集成电路关键设备”一类共新增4项重大技术装备和产品，分别为离子注入机、集成电路自动化测试设备、前道铜互连电镀设备、先进封装电镀设备。而“电子元器件生产设备”为今年新增的重大技术装备，包括MLCC丝网印刷机、MLCC自动分选机、LTCC光刻工艺硬质玻纤板印刷生产线等。
显然，上述政策对于生产离子注入机、集成电路自动化测试设备等2019年被新增进入《国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2019年修订）》的企业意义却又不同。
对此，万业企业子公司凯世通总经理陈克禄博士对集微网表示，本次政策的关键字是“新增”，这体现了国家对离子注入机重要性的认可。
据介绍，离子注入是指将离子入射到硅片材料中，引起材料表面成分、结构和性能发生变化的掺杂过程，是最主要的掺杂工艺。目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种，离子注入具备精确控制能量和剂量、掺杂均匀性好、纯度高、低温掺杂、不受注射材料影响等优点，目前已经成为0.25um特征尺寸以下和大直径硅片制造的标准工艺，占据着主流地位。
陈克禄博士指出，离子注入机是半导体制造工艺中技术最为复杂的设备之一，与光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备被并称为集成电路制造的“四大金刚”。本次政策的颁布说明政府已深刻意识到集成电路装备，特别是离子注入机的重要性。
国产核心零部件验证加速
值得一提的是，多名业内人士对笔者表示，其实针对国内采购国外零部件均是退税的，不过，这对企业其实影响并不大。
陈克禄博士也表示，从零部件单独进口而言，免除了关税跟增值税对我们离子注入机设备生产商有利好形势，从物料采购角度可以节省约4%的采购资金。
重大技术装备具有技术含量高、研发风险大和周期长等特点。节约4%左右的采购成本，相对于企业的研发费用、进口零部件等支出，宛如杯水车薪。
此外，对于进口国外设备方面，国务院也发布了相关政策，自1998年1月1日起，对国家鼓励发展的国内投资项目和外商投资项目进口设备，在规定的范围内，同样免征关税和进口环节增值税。
因此，国内客户向国外供应商采购整机设备也无需缴纳增值税与关税，在ASML、应用材料等全球半导体设备巨头赚得盆满钵满之时，国产半导体设备厂商却由于核心零部件需要进口，被国外核心部件供应商攫取了国产半导体设备的70%利润。
也就是说，如果不实现上游核心零部件的突破，国产设备企业只能在30%的利润当中分得一小杯羹。
据业内人士透露，目前，国产零部件的附加值均不高，在先进制程方面，国产核心零部件几乎为0。
可喜的是，目前这一情形正在慢慢好转，在中美贸易战的影响下，国内半导体设备厂商已经开始关注供应链的安全。
业内人士进一步指出，为应对美国逆全球化，贸易战引发的供应链风险。目前国产零部件验证加速，关键零部件目前也开始慢慢使用国内厂商生产，不过稳定性和可靠性还得持续验证。
显然，这对于国产设备企业是一个很好的开端，若能采购国产零部件，不仅国产半导体设备的生产成本将大幅下降，本土设备企业受制于欧美、日本等厂商核心零部件的情况也将大为改观。只有掌握关键部件材料及技术的本土化，才能实现真正的国产化。
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